U380S 是一款集非接触式 3D 量测和 2D 表面缺陷检测为一体的国产自研检测设备，致力于WLP（wafer level package）封测工艺的缺陷检测。U380S 提供 3D 量测和成像功能，结合集成防震台和晶圆操作系统，可实现检测全自动化。采用 BF （明场）、DF （暗场）和 3D 量测技术，结合成熟完善的数据分析系统，实时反馈缺陷信息，减少废品率，提高生产效率和产品质量。