
四方光电(武汉)仪器有限公司
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四方光电(武汉)仪器有限公司
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产品名称:氧分析仪
产品型号:Gasboard-3053
产品概述
氧分析仪Gasboard-3053搭载高稳定性的氧化锆核心传感器,覆盖25%富氧至1ppm微量氧的全范围测量。具有测量精度高、响应时间快、稳定性好等特点,可应用于半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等领域,为关键的过程控制应用程序提供可靠的性能。产品采用紧凑型模块化设计,体积小巧,便于在复杂⼯况下安装,同时配备直观丰富的用户界面,提供人机交互体验。
产品特性
测量精度⾼,ppm级别测量
响应速度快,秒级出数
即插即⽤⼀体化设计
内置采样泵与过滤系统,安装维护便捷
本地化端到端服务保障
应用领域
半导体、LED等⽣产过程中氧浓度控制、惰性保护⽓体⽣产及焊接⼯艺中氧浓度监测、空⽓分离加⼯⼯艺中氧浓度测定、真空⼿套箱系统中氧含量的监控
技术参数
| 微量-常量氧分析仪 | ||
| 功能性能需求 | 检测气体 | O2 |
| 量程范围 | 0~10~100~1000ppm,0~25%,自动切换 | |
| 检出限 | 0.5ppm | |
| 分辨率 | 0.1ppm | |
| 准确度/示值误差/精度 (ppm=氧分压/当前⼯作总压) | ≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以较大值为准 | |
| 响应时间 | T90≤10s | |
| 预热时间 | ≤20min | |
| 零点漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 量程漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 重复性 | ±0.5%F.S. | |
| 电气结构 | 通讯协议 | RS-232,RS-485 |
| 气路接口 | 进气/出气 1/4''VCR-F | |
| 结构形式 | 一体式 | |
| 结构尺寸(L*W*D) | 210*134*300mm | |
| 环境要求 | 传感器(RSM)工作温湿度 | 温度:0~50℃;湿度:0~95%RH,非冷凝 |
| 采样流量 | 0.5~1L/min传感器内设控流组件 | |
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企业名称
四方光电(武汉)仪器有限公司企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资)信用代码
914201005519974097法人代表
熊友辉注册地址
武汉东湖新技术开发区关东街道凤凰园一路5号科梦除氨产业基地1栋1-5层成立日期
2010-04-19复制注册资本
3000万元人民币有效期限
2010-04-19 至 2030-04-19经营范围
一般项目 : 技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;信息系统集成服务;碳减排、碳转化、碳捕捉、碳封存技术研发;石油天然气技术服务;物联网技术研发;机械设备研发;仪器仪表制造;仪器仪表销售;大气污染监测及检测仪器仪表制造;大气污染监测及检测仪器仪表销售;环境监测专用仪器仪表制造;环境监测专用仪器仪表销售;环境保护监测;电子产品销售;电子元器件批发;非居住房地产租赁;货物进出口;技术进出口;进出口代理。(除许可业务外,可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目)
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