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简介
1200℃加长双温区CVD系统是由加长双温区管式实验电炉，多通道高精度质量流量计混气系统，高真空分子泵系统等组成。可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积、扩散实验。同时上海煜志良好的售后服务体系，使得该产品的整体评价远超同行业标准。
主要技术参数
炉体结构 | 整机采用SUS304不锈钢材质，流线型外观，断热式结构 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 双层壳体结构，内置风冷层，有效降低外壳表面温度 炉盖可开启，可以实时观察加热的物料 |
电源 | 电压：AC220V 50/60Hz；功率：8kW |
炉管 | 高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小； 尺寸：Φ60/80/100*1200mm |
法兰及支撑 | SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合 |
加热系统 | 加热元件采用优质合金丝，表面负荷高、经久耐用； 加热区长度：350mm*2； 恒温区长度：450mm； 工作温度：≤1150℃； **温度：1200℃； 升温速率：推荐≤10℃/min； *快升温速度30℃/min. |
温控系统 | 日本富士仪表，64段控温程序，可分步、分段； 测温元件：N型热电偶； 控温精度：±1℃ |
混气系统 | 三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格：0~1SLM 流量精度：±1.5% 法兰上预留一路浮子流量计，流量规格0.3-3L/min |
真空系统 | 采用双极旋片真空泵+分子泵，极限真空可达4.0*10-4Pa 复合真空计显示，配置电阻规+电离规 抽速：110L/s，风冷式散热结构 配置真空角阀、波纹管、压差式充气阀 |
可选配件 | 冷水机，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件等 |
保修期 | 整机一年保修（相关耗材除外） |
可根据客户要求定制！
特色与优势
1.加长双温区炉体，大大加长了实验区域的温度均匀性；
2.开启式炉盖设置，降低沉积温度、加快沉积速度；
3.日本富士温控仪表，64段控温程序，可分布，分段，三路质量流量计，数字显示精确控制气体流量；
4.双极旋片真空泵+分子泵，实现对真空度的不同要求，极限真空可达4.0*10-4Pa；
5.配置一路浮子流量计及三路高精度质量流量计混气系统，可满足不同气氛下的实验要求；
6.内置S型热电偶，可快速、实时监测反应物料的温度变化情况；
7.尾气活性炭过滤处理，减少反应气体排放对实验室环境的影响。
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