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产品详情
1700CVD系统
1700CVD系统的图片
参考报价:
10-20万元
品牌:
上海煜志
关注度:
2587
样本:
暂无
型号:
YG-1706I-CVD
产地:
上海
信息完整度:
典型用户:
暂无
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认证信息
金牌会员 第 5
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认 证:工商信息已核实
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产品简介

简介

YG-1706I-CVD系统由YG-1706管式炉、三路浮子混气系统、内置测温系统及真空系统等组成。真空泵采用双极旋片真空泵,真空度可达到5x10-1Torr;内置测温系统可实时监测反应管内的温度变化。适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长等场所。同时煜志良好的售后服务体系,使得该产品的整体评价远超同行业标准。


主要技术参数

YG-1706

真空管式炉

双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温;

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

加热元件采用进口优质U型硅钼棒,表面负荷高,大大提高了其使用寿命

电压

AC220V 50Hz/60Hz;功率:6kW

炉管

采用99氧化铝刚玉管,致密度高,经久耐用,不易断裂

尺寸:Φ40/60/80*1000mm

4个氧化铝管堵

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合,4个密封硅胶圈等

加热系统

加热元件:6根U型硅钼棒

加热区长度:280mm

恒温区长度:100mm

工作温度:≤1600℃

**温度:1650℃

升温速率:≤10℃/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能

50段升降温程序

测温元件:B型双铂铑热电偶

恒温精度:±1

三路浮子

混气系统

三路浮子流量计配置在移动工作台上,可以同时通入三路不同的气体 ;

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀;

管路采用聚四氟乙烯软管,耐温耐腐;

每路气体进气管路配有不锈钢针阀;

流量规格:0.3-3L/min;

控制精度:±5%.

低真空系统

采用双极旋片真空泵,真空度可达5x10-Torr 

不锈钢充油真空压力表,良好的抗震性

内置测温系统

测温元件可从加热区边缘延伸至温区中心

法兰密封,保证炉管的密封性

测温元件:B型双铂铑热电偶

尺寸

高温炉:660*580*910mm

混气移动工作台:800*540*720mm

可选配件

HQZ混气系统,中、高真空系统,各种刚玉坩埚,刚玉管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪,冷却水循环机等。


可根据客户要求定制!

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