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产品详情
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)的图片
参考报价:
面议
品牌:
顶立科技
关注度:
209
样本:
暂无
型号:
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)
产地:
湖南
信息完整度:
典型用户:
暂无
非金属电热元件:
其他
金属电热元件:
其他
烧结气氛:
其他
温控精度:
-
最高温度:
-
额定温度:
-
认证信息
金牌会员 第 3
名 称:湖南顶立科技股份有限公司
认 证:工商信息已核实
访问量:377968
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产品简介

卧式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征

电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;

采用智能压力调控,压力波动小;

全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,环境友好,能高效收集焦油及副产物,易清理;

可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高;

卧式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格

参数\型号HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
工作区尺寸 
W×H×L(mm)
600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
**温度(℃)150015001500150015001500
温度均匀性(℃)±7.5±7.5±10±10±10±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。


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