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产品详情
卧式化学气相沉积炉(碳化硅)
卧式化学气相沉积炉(碳化硅)的图片
参考报价:
100-150万元
品牌:
顶立科技
关注度:
10897
样本:
暂无
型号:
HCVD-060609-C
产地:
湖南长沙
信息完整度:
典型用户:
暂无
非金属电热元件:
其他
金属电热元件:
其他
烧结气氛:
真空
温控精度:
±7.5
最高温度:
1500
额定温度:
1500
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认证信息
金牌会员 第 5
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认 证:工商信息已核实
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产品简介

 

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化学气相沉积炉(碳化硅)可用于以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。

 

技术特征

 

☆ 采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
☆ 采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
☆ 采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
☆ 对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;
☆ 采用**设计防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低。

 

产品规格

 

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主要配置

 

☆ 炉门:丝杆升降/液压升降/手动升降;旋转移开/平行移开(大尺寸炉门);手动锁紧/自动锁圈锁紧 

☆ 炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
☆ 炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
☆ 加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
☆ 工艺气路系统:体积/质量流量计
☆ 热电偶:K分度号/N分度号/C分度号/S分度号

  


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