高端碳化硅粉体

推荐哈工大教授解答：如何突破碳化硅高端粉体“卡脖子”难题？

中国粉体网讯 碳化硅凭借其优异的高温力学强度、高硬度、高弹性模量、高耐磨性、高导热性、耐腐蚀性等性能，成为用途最广的陶瓷材料之一。尤其是在半导体领域，碳化硅陶瓷在半导体制造的前段到后段工艺装备中都有广泛应用，例如在研磨抛光吸[更多]