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产品介绍及用途：连接石英管，可通入气体带动托盘基座旋转，可控温产品所处设备位置：反应腔内，非直接接触晶圆主要下游产品：功率器件主要终端市场：新能源汽车产品介绍及用途：连接石英管，可通入气体带动托盘基座旋转，可控温产品所处设备位置：反应腔内，非直接接触晶圆主要下游产品：功率器件主要终端市场：新能源汽车
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