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双层立式石英管水冷结构提供稳定的长晶环境，利于生长高品质晶体，上下温度实时精确监控便于工艺调试，采用上下双测温精确监控提供更优的工艺调整。技术参数生长工艺PVT生长尺寸6-8英寸产品类型非标定制加热方式感应加热（中频感应加热）最高温度2400℃控制方式PLC集成控制系统极限真空度≤5.5×10-5Pa(经烘烤除气后)系统真空检漏漏率≤5.0×10-7Pa.l/S冷却方式循环水路系统系统停泵关机12
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