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干式液氦温区探针台产品特点1、真空腔体：真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口（KF40可接入气体或者额外的电缆）；2、探针控制：标配6个探针臂。调节范围110mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；3、显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0.
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