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结构特点单级式减压结构膜片与母体采用硬密封形式母体接口螺纹:1/4”NPT(F)安全压力:1.5倍的最大输入压力适用温度:-400F~1650F(-400C~740C)泄露率:2x10-8atm.cc/secHeCV:0.14重量:0.9kg(2.0lbs)材质母体:铜电镀，316L阀座:PCTFE，PTFE，Vespel@膜片:316L，Hastelloy®哈氏合金适用范围半导体制程、实验室、气
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