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仪器简介：应用：◆蚀刻-半导体-砷化镓等◆蚀刻-平板显示◆蚀刻-微机电系统◆化学气相沉积◆去光阻◆化学机械研磨技术参数：等离子体处理中的端点检测和诊断技术。将光谱转化为信号并通过自带软件进行绘制和分析，从而了解机台的工作状况。可以将SD1024系列光谱仪集成到系统中，或配置为使用时独立于过程的控制器，这将有助于诊断应用程序。检测器需要Verity的SpectraView软件应用程序，通过一台独立的
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