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设备名称：双料室气相沉积实验炉应用领域：氧化亚硅等多种原材料气相沉积实验工艺描述：双料室装料，归中反应，气相沉积制粉型号装料尺寸装载量工作温度极限温度真空度总功率气氛类别工序时长设备重量MGB20-60HHΦ200*6000.04M1350℃1600℃0.1-2.5Pa90KWAr/N2243T
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