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1．产品名称：小型氧化亚硅气象沉积真空炉2．应用领域：动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）3.工艺描述：三温区设计，合金内胆，温差控制精度3℃，高温高真空，具备脱水，混炼反应，提纯等工艺，反应充分，成品率高（约70%-80%）型号装料尺寸装载量工作温度极限温度真空度总功率气氛类别工序时长MGB15-85HHΦ150*8500.12M31350°C1600℃0.1*0.5pa35KWAr/N
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