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氧化亚硅半连续气相沉积炉设备名称∶氧化亚硅半连续气相沉积炉应用领域∶氧化亚硅半连续量产工艺描述∶高真空脱氧，气相沉积，自动研磨刮料、炉外收集。可配AGV智能物流车技术参数：1．型号：MGB150-130VH2.技术参数：装料罐尺寸Φ1500X1300，装料量２．５T，工作温度１３５０℃，极限温度1６00℃，真空度0.５-2.5Pa，气氛类别：Ar/N2，总功率500KW，工序时长２４H/炉。3.产
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