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气相沉积制粉一体真空炉设备名称：氧化亚硅半连续气相沉积炉应用领域：氧化亚硅半连续量产工艺描述：高真空脱氧，气相沉积，自动研磨刮料、炉外收集。可配AGV智能物流车型号参数：1．型号：MGC50-50-360HH2.技术参数：装料罐尺寸Φ400*1600，装料量Max.800Kg，工作温度１35０℃，极限温度1600℃，温差控制精度3℃，真空度0.1*0.5pa，气氛类别：Ar/N2，总功率150KW
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