PHEMOS8-X是一款高分辨率发射显微镜，通过检测半导体器件缺陷引起的弱光发射和热发射来精确定位半导体器件中的故障位置。由于PHEMOS-X可与通用探测器结合使用，因此您可以使用己经熟悉的样例设置执行各种分析任务。安装一个可选的激光扫描系统可以获得高分辨率的图案图像。不同类型的探测器可用于各种分析技术，如发射分析，热分析和IR-OBIRCH分析。PHEMOS-X支持从探针插座板到大尺寸300毫米品圆探针的各种任务和应用。