产品简介：

Atom Max晶圆级原子力显微镜利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘体等固体材料进行亚纳米级三维扫描成像，可实现晶圆级大样品形貌表征。电动样品定位台与光学图像相结合，可在200×200 mm区域实现1 µm的定位精度，光学结构与扫描头集成一体，自动化程度高，操作便捷。