Akribis-air智能研磨抛光机，具有高度自动化的独立系统，提供了工艺创新，在短时间内可实现zui高水平的处理。

Akribis-Air智能研磨抛光机功能:

盘面平整度控制

夹具自动设置

动态负荷控制

增加控制參数

实时数据收集和反馈

计里磨料供应

自动清洗功能

单工作站系统配有400nmm的盘，速度为100rrm。当使用LOFITEC咱的动态负载控制的新智能夹具系统，在广泛的应用程序中提供快速、可靠和高度准确的结果。LOFITECH的空气驱动智能夹具可用于100毫米和150毫米晶圆处理。Akribis-air智能研磨抛光机典型应用:

硅集成电路、太阳能和波导

III-V族化合物稀释和抛光

蓝宝石和发光二极管

碳化硅光学，发光二极管和电力电子

氮化镓一光学仪器、激光、射频高频