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产品简介
SH2000+系列，搭载非制冷高速线阵CMOS探测器，是一款可见-近红外谱段、结构紧凑、支持高采样率的光谱仪，可用于高速采集光谱检测技术应用领域，例如CMP制程膜厚终点检测等，也可应用在生产线及科研实验室等领域，提供高灵敏度测量功能，在复杂的工业环境中，该系列具备强大的热波长稳定性，系统热稳定性好。
1、CMP膜厚终点检测
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