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产品简介
| 产品特性1：可实现电子级特殊气体的持续不间断安全供应；主要采用PLC控制，触控屏为人机界面或数显按钮式操作界面。 |
| 产品特性2：柜体板材厚度≥2.5mm，配置防爆夹丝玻璃观察窗，具有防爆功能 |
| 主要特点1：自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断。 |
| 主要特点2：配置入口精密颗粒过滤器（≤0.003μm）、高低压显示压力表、调压阀、隔膜阀等。 |
| 主要特点3：配置气体泄露侦测器，与紧急切断阀联动，并发出声光报警。 |
| 主要特点4：柜内管阀件采用SS316L,Ra≤0.25μm，泄漏率≤1.0×10-9mbar.L/s。 |
| 主要特点5：特殊气体采用双套管工艺，并配置管道伴热。 |
| 主要特点6：柜体配置DN150排风阀，可满足300~400m³/h风量，维持柜内负压，可选配风机等附件。 |
| 适用场合：主要用于IC、TFT、Solar、LED等工厂特气的供应需求。 |
| 适用气体：易燃/自燃性气体、腐蚀性、毒性，如SiH4,NF3,NH3,N2O,HCL等 |
| 气源供应方式：Cylinder |
| 产品系列：AUTO GC |
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