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可提供纯度大于99.99%的镀膜用氧化物晶体颗粒,跟常规镀膜用烧结颗粒和烧结块料相比,睿为镀膜用晶体颗粒纯度更高,并且含气率极低,不影响系统真空度。目前可提供包括氧化铝,氧化锆。可根据客户需求定制其它高纯氧化物晶体,如氧化钛,氧化镁等。粒度可以根据客户要求定制。
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