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产品分类
产品简介
主要技术指标：
参数/型号 | VSF200-VSF6000 |
工作区尺寸 | 按客户需求定制 |
安装形式 | 立式/卧式 |
加热器分布方式 | 圆周/六面分布/上下 |
加热器材质 | 高纯石墨/钨/钼/高温合金 |
| 保温材料 | 硬质碳毡/复合碳毡/全金属屏 |
**温度（℃） | 2400 |
温度均匀性（℃） | ±5 |
极限真空度（Pa) | 8×10-4Pa |
工作真空度（Pa） | 5×10-3Pa |
压升率（Pa/h） | 0.67 |
工作压力（**压力MPa） | 0.12 |
| 工艺气氛 | Ar/N2 |
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