核心参数

仪器种类：

原子力显微镜

仪器类型：

工业型

定位检测噪声：

整机成像噪声小于0.05 nm（Z向Rms）

样品尺寸：

205 mm×205 mm

样品台移动范围：

100 μm×100 μm×15 μm

软件：

实时控制软件和离线分析软件