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CVD 气相二次碳包覆炉凭借精准的碳层沉积能力,成为材料表面改性领域的关键设备,广泛应用于多行业核心材料制备,适配研发、中试到量产全流程。 在新能源领域,它是锂电硅基负极量产的 “核心助手”。硅基材料充放电时易因体积膨胀破坏结构,该设备能在一次包覆基础上,沉积 5-10nm 致
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