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产品分类
产品简介
*小流量:20 SCCM **流量:500 SLPM
E100气体层流质量流量计与在原有的M100系列做了产品的升级,通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及**核心算法,在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。同时,内置多种气体和混气设置,数字式和模拟式的通讯方式,实现流量的精确测量。
*小流量:20 SCCM **流量:500 SLPM
E100气体层流质量流量计与在原有的M100系列做了产品的升级,通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及**核心算法,在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。同时,内置多种气体和混气设置,数字式和模拟式的通讯方式,实现流量的精确测量。
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