EMS 150R S Plus– 紧凑型机械泵溅射仪，适合非氧化金属

EMS 150R E Plus– 紧凑型机械泵镀碳仪

EMS 150R ES Plus–集成了离子溅射和碳蒸镀两种沉积功能的紧凑型机械泵镀膜仪

新款改进

● 触摸屏更换成便于操作的电容触摸屏

● 固件更新，新版操作界面类似安卓系统，便于客户上手

● 新的彩色LED可视状态指示灯

● USB接口可以用于固件更新，并可将镀膜方案文件备份/复制到USB存储设备

● 可以通过USB端口以.csv格式导出过程日志文件，以便统计分析

主要特点:

●金属溅射或碳蒸发一体化设计，节省空间

●适合FE-SEM制样的精细镀膜和薄膜应用

●涡轮分子泵高真空系统，适合不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材

●全自动触摸屏控制，快速数据输入，操作简单

●可储存多个客户自定义镀膜方案：对多用户实验室十分理想

●预编程自动真空控制

●使用膜厚监控选件精确控制膜厚

●智能系统识别，自动感知用户所插入镀膜头的类型

●高真空碳蒸镀，对SEM和TEM镀碳膜应用非常理想

●先进的碳棒蒸镀枪设计和电流控制技术，操作简单，重现性好

● Drop-in式快速换样品台（标配旋转台）

●真空闭锁功能，让工作腔室在待机使用时亦处于真空状态

●不破坏真空条件下的溅射时间可长达60分钟，适合材料科研应用

●人体工程学设计，整体成型机壳，维护、拆装容易

技术参数:

●工作腔室：165mm外径 x 127mm高

●触摸屏全图像用户界面

●靶材：标配直径57mm x 厚0.1mm Au靶

●样品台：标配旋转台，直径60mm，转速8-20 rpm ，可选配旋转倾斜台。

●真空系统：双程旋转机械泵

●极限真空度：2 x 10^-2mbar

●溅射真空度：3 x 10^-2 mbar与5 x 10^-1mbar之间

●溅射电流：0-80mA

●溅射时间：*长60分钟

●碳蒸发：稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发，确保碳棒可重复蒸碳，电流脉冲1~90A。

●尺寸和重量：仪器机箱585mm宽x 470mm长 x 410mm高 (总高: 650mm)