仪器特点：

稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；

源气质量流量计可控制到0-100SCCM；

4路校准气入口和1路吹扫口；

1路稀释气入口，5路输出口和1路排空口；

55个按键薄膜键盘；

24位数字输入/输出，

2路串行通讯输出，RS232输出；

大而明亮的彩色显示器；

外部PC键盘接入端口；

并行打印端口；

空气源控制端口。

性能参数：

稀释入口：1路标准；

源气入口：4路标准，1路吹扫；

稀释流量：0-10SLM（0-20SLM可选）；

源气流量：0-100SCCM/0-10000SCCM；

流量精度：≤±1%FS；

流量重复：≤±0.15%FS；

线性：≤±0.5%FS；

入口压力：20-35 PSIG；

多路输出：标准6个输出口；

内置臭氧发生器参数：

输出：5SLPM下0.05-1.5ppm；

精度：1%SP或5SLPM下2ppb；

流量：100±1 SCCM；

紫外灯温度：50±0.1℃。

内置紫外吸收光度计参数：

量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；

线性：±1ppb或±1%FS；

精度：±1ppb；

零点漂移：<±1ppb/24小时或30天；

流速：1.0 LPM；

模拟输出：0-0.1/1/5V。

内置稀释炉参数：

材质：玻璃或特氟龙；

尺寸：1个稀释管；

可调温度：高于环境温度5度到65度；

温度精度：<±0.1℃；

操作：55个按键，键盘或串行端口；

校准定义：20个工厂定义流路；

校准类型：气体稀释，臭氧，GPT；

气体定义：2个稀释气，20个源气；

自动校准：20个程序驱动定时，

7天事件，用户可自定义；