该设备为RTP快速升温炉，加热元件为红外灯管，可快速升降温。内置移动导轨，并有电极带动再导轨上滑动，三温区结构设计，配合自动化程序控制，可实现样品在不动条件下的自动化移动和蒸镀处理。

技术参数

加热部分：

炉膛模式：前后移动开启式炉膛（三个工艺炉膛）

显示模式：10 英寸触摸屏

加热元件：短红外波灯管，上下水平面独立加热

工作温度：≤750℃

升温速率：≥15℃/s（空炉）

样品移动：电机驱动，速度可调

温区长度：200mm（恒温区 100*100mm）

温度均匀性：≤±2℃

工艺位温降；≤30℃

快速降温；≥3℃/S（空炉）

炉管规格  ：Φ150*1200 mm

控温精度：±1℃

密封方式：快速法兰密封

仪表补偿：室温自动补偿

温度曲线：30 段"时间—温度曲线"任意可设

测温元件：K 型铠装热电偶（Omega）

炉膛材料：氧化铝纤维

外形尺寸  ：1450*700*1000MM长*宽*高

整机功率：单个温区 12kw，共计 36KW

电源参数：380V 50Hz

样品移动：伺服电机驱动刚玉推杆带动基板移动

运行轨道：钼轨道

推杆速度：可调

导轨水平度：≤1mm/m

推杆定位误差：≤1mm

防撞措施  ：超力矩推不动，急停按钮

蒸发距离：样品下平面和坩埚上平面间距≦2mm,可根据需要调节

速度误差  ：≤1%

抽真空能力：大气到≤5Pa 小于 15min（空炉）

气压范围：10 -3Pa～10 5Pa，机械泵极限≤5Pa

泄漏率：≤5 -4（Pa*m 3/s）

真空计范围：大气到 10 -5Pa，**分辨率 0.01Pa

气路系统：按照工艺要求定制