半导体电子显微镜

1997年FEI和飞利浦电子光学宣布合并其全球业务
2008年台式扫描电子显微镜飞纳(Phenom)进入中国市场
2012年飞纳(Phenom）台式扫描电镜全球销zui突破2000台
2013年飞纳（Phenom)发布第三代台式扫描电镜，放大倍数
10万倍，分辨率优于17nm

 半导体电子显微镜

17世纪荷兰光学天才:Antoni van

 Leeuwenhoek设计并制造世界

*台光学显微镜

19世纪Anton和Gerard Philips在荷兰埃因霍温创建

        了飞利浦公司

1947年LePoole教授为Dorgelo教授展示荷兰*台扫描电子显微镜

飞纳(Phenom)主要特点

一长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝

一表面细节丰富的高质量图片

一内置彩色光学显微镜

一自动马达样品台

一30秒快速成像，操作简单

一光学与低倍电子双重导航

一防震设计，对放置环境无牛条殊要求

一样品仓低真空技术，直接观测绝缘体，}c需喷金

一四分割高灵敏度背散射电子探头，兼得样品表面

  形貌与成份信息