产品概述

塞维欧SEIVIO Vaculub B042 洁净室真空润滑脂采用蒸汽压较低的直线分子结构的全氟聚醚油，PTFE稠化，并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。是专为高洁净度无尘室 + 高 / 超高真空环境设计的特种润滑脂，核心使命是：润滑同时，不产生可挥发气体（Outgassing）、不释放微米 / 纳米级颗粒、不污染精密表面（晶圆、光学镜片、传感器），满足 Class 1~Class 100 级洁净室与 10⁻⁵~10⁻¹⁰ Pa 超高真空工况要求。

产品特性

+ 极低挥发性 / 极低蒸气压（核心）

真空下不挥发、不逸出小分子，避免油雾、冷凝膜污染光学 / 半导体元件；饱和蒸气压通常≤10⁻⁸ Pa（室温），满足超高真空（UHV）要求；

+ 杜绝释气（Outgassing）导致的真空度下降、镀膜缺陷、镜片 “起雾”；

+ 极低发尘 / 低颗粒释放

配方超纯、无杂质、无金属离子；运动剪切时不产生固体碎屑、磨粒，控制颗粒尺寸＜0.1μm，符合 ISO 14644 洁净室标准；

+ 高化学 / 热稳定性、惰性

耐酸碱、耐强氧化剂、耐等离子体 / 辐射，不与半导体工艺气体、清洗剂、密封材料（氟橡胶、PTFE）反应；宽温（-70℃~280℃）下不分解、不硬化、不流失。

应用领域

适用于典型应用场景（半导体核心设备）

· 半导体：光刻机、晶圆传输机器人、真空腔体、线性导轨 / 丝杠、真空阀门、机械手关节。

· 真空设备：电子显微镜、质谱仪、真空镀膜机、离子注入机、超高真空系统。

· 光学 / 精密：激光设备、光学镜头、精密位移平台、医疗手术机器人、生物实验室洁净设备。

包装规格

1kg/罐装      订货号 147802

储存运输

应在常温、阴凉、避光处保存，禁止在阳光下直晒，以免油脂分离及分解。在原包装中保质期可达36个月。

使用建议

薄涂原则： 只需要在表面形成一层连续的薄膜即可。过量的油脂可能会被吸入真空泵造成污染，或流进反应瓶影响实验结果。

彻底清洁： 在更换或重新涂抹前，必须用异丙基醇、己烷或专用清洗剂将旧的残余油脂及吸附的灰尘彻底清除。

关于塞维欧®SEIVIO

作为比瑟奴润滑科技®在中国的子品牌，塞维欧致力于为客户提供高品质的洁净室真空润滑脂应用解决方案、专业的技术支持与优质的服务。联系我们，了解更多产品信息！