氧化硅抛光液 MYH-SOP40

一、氧化硅抛光液简介

氧化硅抛光液（也称胶态二氧化硅抛光液）是化学机械抛光（CMP）工艺中的核心耗材，核心作用是通过化学腐蚀与机械研磨的协同作用，实现材料表面纳米级平坦化加工，确保抛光工件达到超光滑、低损伤的表面精度要求。

精准实现纳米级平坦化，兼顾抛光效率与表面质量。

“纳米级平坦化” 是行业核心要求，指通过抛光将材料表面粗糙度控制在纳米级范围，同时实现无划痕、无麻点、无残留的超净表面，以实现：

1. 高精度加工：满足半导体、光学等领域对工件表面的精度要求。

2. 低损伤成型：避免抛光过程对基材造成物理 / 化学损伤，保障器件性能与使用寿命。

3. 良率提升：实现均匀一致的抛光效果，降低后续制程的缺陷率，提升整体生产良率。

二、铭衍海氧化硅抛光液 MYH-SOP40 产品特点

1. 粒径精准：20-40nm 球形单分散磨粒，分布窄，实现纳米级均匀去除。

2. 高效低损：平衡化学腐蚀与机械研磨，抛光速率高，不划伤各类精密基材。

3. 悬浮稳定：久置不分层、不沉淀、不团聚，批次间性能一致，抛光重复性好。

4. 高纯易清洗：水性体系，水性配方无有机残留，纯水可冲净。

5. 适配性强：适配半导体、光学、光通信等多领域抛光需求，兼容主流抛光机台与抛光垫。

三、铭衍海氧化硅抛光液 MYH-SOP40 应用范围

氧化硅抛光液主要用于各类精密材料与器件的化学机械抛光，核心作用是实现表面纳米级平坦化、提升表面光洁度、降低加工损伤，适用产品如下：

一、半导体晶圆与衬底（核心应用）

单晶硅 / 多晶硅晶圆、碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）、砷化镓（GaAs）等化合物半导体衬底

半导体封装基板、晶圆级封装器件抛光

二、光学晶体与光学器件

蓝宝石衬底（LED / 光学专用）、石英晶体、光学玻璃、铌酸锂（LN）/ 钽酸锂（LT）晶体

红外光学晶体、光学镜片 / 镜头、光纤连接器端面超精抛

四、其他精密加工领域

光纤跳线插芯、保偏光纤器件

精密金属基片、微电子机械系统（MEMS）器件抛光

常见类型

专用精抛液：仅用于精抛 / 终抛工序，表面光洁度高，适配超高精度加工需求。

通用抛光液：兼顾中抛与精抛，适配多工序衔接，简化加工流程、提升生产效率。

定制化抛光液：可根据客户需求调整粒径、固含量、pH 值，适配特殊材质 / 工艺抛光。

四、储存与使用

温度：5℃ ~ 35℃，防冻（＜0℃易结块失效）、防高温（＞35℃易破坏体系稳定性）、防晒。

使用前：轻微搅拌均匀，确保磨粒分散一致；可原液使用或按 1:1~1:5 比例用去离子水稀释，稀释后充分搅匀。

操作：避免与酸性物质接触，防止体系变质；抛光后及时用纯水清洗工件与设备，避免残留。