芬兰PICOSUN高级型原子层沉积机P-300 Advanced ALD

衬底尺寸和类型：

。156 mm x 156 mm硅片50～100片/批次（双面/背对背）

。高达300 mm x 300 mm玻璃基板10～20片/批次（双面/背对背）

。大批量的3D产品（例如：钟表部件，珠宝，硬币，医疗植入部件，机械部件等）

。粉末与颗粒

。Roll-to-roll， 衬底**宽 300 mm

。多孔，通孔，与高深宽比（HAR）样品

工艺温度： 50 - 500 °C

基片传送选件：

。气动升降（手动装载）

。半自动装载，用线性装载器实现

。全自动转载，用工业机器人实现

前驱体 ：

。液态、固态、气态、臭氧源

。前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务

。4根独立源管线，*多加载6个前驱体源

重量： 400 + 300 kg

尺寸 ：(W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm

选件： PICOFLOW™ 扩散增强器，N2发生器，尾气处理器，定制设计，与工厂软件连接服务。

验收标准 ：标准设备验收标准为 Al2O3 工艺