瑞典Mycronic 掩膜计量系统Prexision-MMS

详细介绍

掩膜计量系统

主要优势

*更佳的配准: 30%

*更好地将掩膜套合到掩膜上: 20%

*更短的周转时间: 30%

。 **的创新性Prexision平台具备优异的精准度与可重复性

。 用我们的**技术改善配准测量。

。因为**次测量的结果精确无误，这大大给您节省了周转时间。

。 充分发挥我们的Prexision光刻机的潜力。

基于*精确的Prexision平台打造出的Prexision-MMS将对大面积的配准测量带到了全新的高度。现在，您可以证明您的光掩膜质量究竟有多好了！

为充分利用其性能，您的测量系统性能对于精密调校光刻机也是极其重要的，这样您的光掩膜才能以**的质量描绘出来。

Prexision-MMS 提供两个型号。G8型**可处理用于8代显示器玻璃尺寸的掩模尺寸。对于G10型，**可处理11代显示器尺寸。

技术指标 Prexision-MMS

掩膜对掩膜套合3σ[nm] : 40

配准3σ[nm] : 65

关键尺寸可重复性3σ[nm]: 50

**尺寸: G8