1）常用温度：1000℃；

2) **温度：1100℃；

3) 控温稳定度：±1℃，具有PID参数自整定功能；

4) 温度均匀度：±5℃，1000℃平台恒温1小时空炉测试，预留检测口；

5) **升温速率：10℃/min

6) 控温点数：3点；控温热偶：N分度；另加单独测温点数：1点；并预留测温孔，供客户自行测温。

7) 罐体材料：Inconel601；

8) 罐体尺寸：Φ630×900（d×D）；

9) 有效尺寸：400×400×500mm（W×H×D）（此为温场均匀区域）；

10) 承料方式：罐体内底部承托板，承重≥40kg，工作台2个；

11) 加热元件：FEC陶瓷纤维加热器，布置在炉膛外部，寿命≥10000h；

12) **加热功率：48kW；

13) 空炉典型保温功率：≤20kW；

14) 程序步数：30步；

15) 烧结气氛：氩气或空气；

16) 氧含量：优于10ppm+气源氧含量；

17) 氧监测：配置一台微氧氧分仪实时监测炉膛内氧含量（空气状态时不可用）；

18) 极限真空度：≤100Pa（抽气时间≤10min）；

19) 冷却方式：鼓风机外部强制冷却（500℃以下降温速率≥2℃/min）；

20) 设备外表面温升：≤35℃；

21) 报警保护：超温、断偶、低气压、低水压、真空度不达标等声光报警保护，并具有超温断加热保护功能；

22) 设备重量：约1000Kg；

23) 设备颜色：浅灰色；

      24) 外形参考尺寸：1500×1900×1800mm（W×H×D），具体尺寸以实际产品为准。

25) 热工设计：设备马弗采用Inconel601不锈钢制作，圆形罐体结构，内面抛光；炉腔设计按照真空腔体设计要求，实现高真空密封要求，长期使用不变形，寿命≥2年；加热元件为陶瓷纤维材料内嵌螺旋加热丝，罐体外部四周环绕加热。采用前、中、后三点独立控温方式，保证炉膛内部的温度均匀性。

26) 真空系统：通过旋片式真空泵获取真空，极限真空度100Pa，抽气时间≤10min。所有的真空管路均由304不锈钢制作，采用氩弧焊接，带标准真空密封法兰，电解抛光；系统真空度由电阻规检测，并通过真空计读取。整个真空系统中的阀门均为程序自动控制，自动模式下系统自动顺序动作，且具有联动互锁和完备的安全保护功能，在断电时各阀门均处于关闭状态以保护炉内工艺状态。

27) 气氛系统：进气分三路，一路置换进气、一路氩气、一路空气；设备使用时可先对罐体进行预抽真空，再向罐体内回填保护气体；置换进气气体流量由玻璃转子流量计控制，量程48～480L/min，倒灌时间≤3min；氩气及空气流量均由质量流量计控制，量程0～5L/min，*小可设置流量≯50mL/min，控制精度≯50mL/min；除置换气外，每路进气通断均由电磁阀控制，通过程序控制，可在不同的工艺段通入不同的气体，且气体进入有效区域后与炉膛温度相差<10℃。

28) 密封设计：为保证炉口的密封性，炉口法兰处设计有密封槽，用于安装氟橡胶密封圈，密封圈背部设计有冷却水套，用于保护氟橡胶密封圈，防止其在高温下损坏。为保证炉门处表面温升，在炉门内部填充陶瓷纤维保温材料，密封材料寿命不小于2年。

29) 温度控制：通过N分度热偶测量温度，日本山武智能温控模块采集热电偶信号，触发控制固态继电器，实现并达到控制温度的目的；山武智能温控模块具有PID参数自整定、高温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能。

30) 操控系统：触摸屏集中控制并显示温度、真空度、阀及真空泵动作逻辑，方便观察及操作；具有显示/存储工艺文件，方便调用固化工艺；实时显示与记录报警状态；实时记录各工艺参数；具有多级权限管理，确保不同管理人员对不同参数数据具有合适的操作权限，配有数据、报警、操作记录功能，数据、报警、操作可追溯，可保存300天，数据可通过U盘导出，操作界面高度距地面1.4~1.6m。

31) 其他：操作方便，样品放置方便，且不会导致破坏密封；