贝意克小型滑轨式PECVD系统_报价-安徽贝意克设备技术有限公司

小型滑轨式PECVD系统

品牌：贝意克
产地：安徽
关注度：6187
型号：BTF-1200C-S-SL-PECVD
报价：面议
信息完整度：

点击留言，第一时间获取专属报价

400-810-0069转7574

中国粉体网认证电话，请放心拨打

问厂商

小型滑轨式PECVD系统的工作原理介绍？小型滑轨式PECVD系统的使用方法？小型滑轨式PECVD系统多少钱一台？小型滑轨式PECVD系统的说明书有吗？小型滑轨式PECVD系统的报价含票含运费吗？小型滑轨式PECVD系统有现货吗？小型滑轨式PECVD系统是国产还是进口的？有小型滑轨式PECVD系统的详细技术参数吗？小型滑轨式PECVD系统可以应用在哪些领域？0有办事机构吗？0销售电话是多少？

核心参数

非金属电热元件：其他
金属电热元件：铁铬铝丝
烧结气氛：真空
温控精度：±1℃
最高温度：1200℃
额定温度：1100℃

标签：

贝意克真空炉

贝意克BTF-1200C-S-SL-PECVD

真空炉

展位推荐

卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80

大面积CVD石墨烯生长设备

前端预热法硫化钼制备设备

六通道管式炉

产品介绍

一、设备简介

我公司研制的滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。该款设备是全自动Plasma增强CVD系统（PECVD），系统可以实现连续滑动温区，连续可控制温度及Plasma强度。PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体，辉光放电等离子体中：

1、电子密度高10⁹-10¹²cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。

2、通过反应气态放电，有效地利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点，工艺流程简单

二、主要基本参数

1、加热系统

使用温度	1200℃
使用温度	≤1100℃
炉膛有效尺寸	Φ50mm
炉膛材料	氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型	K型热电偶
控温精度	±1℃
控温方式	30段可编程控温，PID参数自整定。
加热长度	230mm
恒温长度	100mm
加热原件	电阻丝
供电电源	单相，220V，50Hz

2、PE系统

功率输出范围	0W~150W
射频输出接口	50 Ω, N-type, female
功率稳定度	≤5W
谐波分量	≤-50dbc
供电电压	单相交流（187V-253V）频率50/60HZ
整机效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷却方式	强制风冷

3、三路质子流量控制系统

连接头类型	双卡套不锈钢接头
标准量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm （可根据用户要求定制）
准确度	±1.5%F.S
线性	±1%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
压力	≤3MPa
接口	Φ6,1/4''
显示	4位数字显示
工作环境温度	5~45高纯气体
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6
内外双抛不锈钢管	Φ6

4、低真空机组

空气相对湿度	≤85%
工作环境	5℃～40℃
工作电电压	220V
抽气速率	10m³/h
极限真空	5X10-1Pa（空载冷态）
工作压力范围	1.01325X105～1.33X10-2Pa
进气口口径	KF25
排气口口径	KF25
连接方式	采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

问商家

小型滑轨式PECVD系统的工作原理介绍？
小型滑轨式PECVD系统的使用方法？
小型滑轨式PECVD系统多少钱一台？
小型滑轨式PECVD系统的说明书有吗？
小型滑轨式PECVD系统的报价含票含运费吗？
小型滑轨式PECVD系统有现货吗？
小型滑轨式PECVD系统是国产还是进口的？
有小型滑轨式PECVD系统的详细技术参数吗？
小型滑轨式PECVD系统可以应用在哪些领域？
0有办事机构吗？
0销售电话是多少？

相关产品

高温真空退火CVD系统 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210

型号：BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210

面议

纳米线生长专用设备

型号：BTF-1400C-III-VT

面议

小型组合式多通道管式箱式炉

型号：BTF-1200C-4D-4M

面议

小型RTP快速升温管式炉

型号：BTF-1200C-RTP-S90A

面议

工商信息

企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

联系我们

安徽贝意克设备技术有限公司

客服电话

400-810-0069转7574

安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年，基地位于安徽合肥，是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。公司历经十余年的艰苦创业已由当年的行业追随者发展成为今天的行业领跑者。公司重视技术攻关和产品研发，建有一流的产品研发中心，拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍，累计获得**200余项。并通过产学研合作，与北京大学南开大学等多所知名院校建立联合实验室及研究生联合培养基地公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造，产品门类

产品小贴士

小型滑轨式PECVD系统由安徽贝意克设备技术有限公司提供，产地为安徽，属于国产真空炉，符合多项国家和国际标准，广泛应用于矿业/冶金、电池/电源、能源、钢铁/金属、综合其他等领域，小型滑轨式PECVD系统凭借其创新性与实用性，在真空炉用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。

根据贝意克官方产品资料显示：小型滑轨式PECVD系统的非金属电热元件为其他，金属电热元件为铁铬铝丝，烧结气氛为真空，温控精度为±1℃，最高温度为1200℃，额定温度为1100℃，小型滑轨式PECVD系统的型号是BTF-1200C-S-SL-PECVD，品牌为贝意克。

在同系列产品中，您还可以选择以下型号:

产品名称	品牌	型号	产地类型	价格
高温立式炉	贝意克	略	国产	电议
小型组合式多通道管式箱式炉	贝意克	BTF-1200C-4D-4M	国产	电议
快速升温淬火炉	贝意克	RTP-1200C-BVT-80	国产	电议

客户服务热线：400-810-0069转7574（售前/售后支持）
官方链接：https://ahbeq.cnpowder.com.cn/product_182358.html
来源：安徽贝意克设备技术有限公司

推荐产品
供应产品

手机版：

小型滑轨式PECVD系统