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安徽贝意克设备技术有限公司
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贝意克管式炉
贝意克BTF-1200C-S-SL-CVD
管式炉
一、主要特点
此款设备由电动滑轨式管式炉、三路供气系统、真空及过滤系统、前驱体鼓泡装置，气体预热装置、软件控制等部分组成。适用于前驱体为非气态源，如固态或液态前驱体，前驱体灌温度可达400℃，且温度独立可调，固态或液态前驱体在一定温度下蒸发后通过惰性气体带入反应区域参与的一些CVD反应。
二、设备结构
1.左右两端进气抽气可相互切换；提高基体上涂层的均匀性；
2.炉体底部在电机带动下可在导轨上水平移动，移动速度根据工艺需要可设置。
3.采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持。
4.供气系统可以按照客户的实验需求配置几路质量流量计，流量计的量程可选，真空系统也可以根据客户的需求选择配置各种真空泵。
三、技术参数：
加热系统 | |
使用温度 | 1200℃（1 hour) |
工作温度 | ≤1100℃ |
炉膛有效尺寸 | Φ40*800mm（炉管直径可根据实际需要定制） |
炉膛材料 | 高纯氧化铝纤维 |
热电偶类型 | K型热电偶 |
控温精度 | ±1℃ |
控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定 |
操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序 | |
加热长度 | 150mm |
恒温长度 | 70mm |
加热原件 | 电阻丝 |
供电电源 | 220V，50Hz |
额定功率 | 2KW |
三路质子流量控制系统 | |
连接头类型 | Φ6mm双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2) | 100sccm，100sccm、200sccm；（可根据用户要求定制） |
准确度 | ±1.5% |
线性 | ±0.5～1.5% |
重复精度 | ±0.2% |
响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
**压力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
真空机组 | |
工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽气速率 | 10m³/h |
极限真空 | 5X10-1Pa |
耐压值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
进排气口径 | KF25 |
噪音 | 50dB |
连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
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企业名称
安徽贝意克设备技术有限公司企业类型
信用代码
91340100591423143H法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
400-810-0069转7574
非气态源化学气相沉积系统由安徽贝意克设备技术有限公司提供，产地为安徽，属于国产管式炉，符合多项国家和国际标准，广泛应用于矿业/冶金、电池/电源、能源、航空航天、综合其他等领域，非气态源化学气相沉积系统凭借其创新性与实用性，在管式炉用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。
根据贝意克官方产品资料显示：非气态源化学气相沉积系统的非金属电热元件为其他，金属电热元件为铁铬铝丝，烧结气氛为其他，温控精度为±1℃，最高温度为1200℃，额定温度为1100℃，非气态源化学气相沉积系统的型号是BTF-1200C-S-SL-CVD，品牌为贝意克。
| 产品名称 | 品牌 | 型号 | 产地类型 | 价格 |
|---|---|---|---|---|
| 前端预热法硫化钼制备设备 | 贝意克 | BTF-1200C-400C | 国产 | 电议 |
| 六通道管式炉 | 贝意克 | BTF-1200C-6D | 国产 | 电议 |
| 真空管式炉(BTF-1400C) | 电议 |
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