中国粉体网讯 机器轰鸣不息,生产数据实时跳动。走进洛阳中硅高科年产300吨碳化硅项目现场,储罐林立、管线纵横。反应炉内,硅、碳原子在高温下重构生长,最终生成碳化硅晶体。厂区外货运卡车排起长队,一派产销两旺的火热景象。

来源:河南日报
据项目负责人介绍,项目采用企业独创碳化硅制备新技术,是该工艺的产业化示范线。相较于传统工艺,产品品质大幅提高,可实现下游碳化硅芯片等产品质量提升、成本降低,为我国第三代半导体产业规模化、低成本应用提供基础原料保障。凭借过硬的产品品质,生产线现已满负荷生产,排产已经到了4个月之后。
碳化硅是第三代半导体核心材料,相较于传统硅材料,拥有耐高压、耐高温和优异高频性能等优势,在新能源汽车、光伏发电、智能电网、轨道交通及航空航天等领域应用广泛,是支撑我国集成电路乃至高端装备产业转型升级的关键材料。
高纯碳化硅制备是产业链上游的第一道关口,碳化硅的品质如何,直接决定着碳化硅芯片等产品的性能。传统的碳化硅制备工艺的反应机理存在天然缺陷,导致产品纯度低、稳定性差,投资大、成本高,严重制约产业发展。
针对行业发展瓶颈,中硅高科基于已有理论积累和生产经验,在行业内首次构建了材料基因数据库,通过模拟计算开发全新技术路线,形成15项核心技术,获得发明专利6项,形成了彻底颠覆传统路线的高纯碳化硅制备路线,彻底打破国外专利技术壁垒,被誉为我国第三代半导体产业实现从追赶到超越的支撑技术。

来源:洛报融媒
依托这套原创技术,中硅高科产出的碳化硅产品优势凸显:对比传统工艺,单炉产量提升25倍,生产成本降低25%;产品稳定性、一致性更强,氮、硼、铝等关键指标创造行业极限水平,促进下游单炉装填量提升20%、产品良率提升8%。产品投放市场一年,国内客户覆盖率超90%,市场占有率第一。
据悉,河南洛阳中硅高科技有限公司是中国五矿集团有限公司旗下专注于集成电路用先进硅基材料研发、生产和销售的国家高新技术企业。中硅高科持续深耕基础研究,从技术上突破,装备上升级,产品上迭代,集成电路用电子级多晶硅和硅基电子特气、光通信行业用高纯四氯化硅等高端硅基材料相继实现国产化。
近年来,中硅高科始终坚持把科技创新作为引领发展的第一动力,成功将高端芯片材料技术成果转化为22种产品,其中7种产品市场占有率国内第一,企业成为50余家国内集成电路企业的重要供应商。除了在第三代半导体材料领域实现革新突破,企业超高纯硅基电子材料制备技术整体也居国际先进水平,硅基电子气体制备技术达到国际领先水平。
来源:中国五矿集团有限公司、河南日报、孟津发布、洛阳融媒等
(中国粉体网编辑整理/初末)
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