超高纯二氧化硅

推荐不靠挖矿，靠“气相造硅”：CVD如何做出99.9999%高纯石英？

中国粉体网讯 高纯二氧化硅是半导体光刻、高功率激光和航空航天等领域的关键战略基础材料。相较于传统矿物提纯路线，气相沉积技术是实现超高纯二氧化硅制备的核心途径。气相沉积分为物理气相沉积（PVD）与化学气相沉积（CVD）两大体系[更多]