纳米压印光刻机

推荐中科院自主研制新型紫外纳米压印光刻机 有望提升我国微纳级制造业能力

中国粉体网讯 记者日前从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队已自主研制出一种新型紫外纳米压印光刻机，其成本仅为国外同类设备1/3，将有力推进我国芯片加工等微纳级结构器件制造水平迈上新的台阶。　　光刻机是微纳[更多]