电子束光刻机

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各位在微纳领域深耕的研究者、工程师和老师们!无论是高校课题组里的器件验证,科研院所的前沿探索,还是企业研发部门的原型开发与工艺摸索,微纳图形的加工往往是绕不开的一环。而电子束光刻作为无掩模直写的代表技术,既灵活又精细,却常常[更多]

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