任何一套装置(三氯氢硅工艺)都需要用无水的氯化氢气体,才能生产和制造多晶硅。目前,上海贤达美尔森过程设备有限公司已经介入产生或回收氯化氢工艺系统以及用于生产多晶硅工艺中特殊石墨材料市场,并可根据客户需要,为其提供整套系统服务[更多]
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