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中国粉体网讯 碳化硅零部件，即以碳化硅及其复合材料为主要材料的设备零部件，相比其他材料部件，碳化硅材料零部件具备密度高、热传导率高、弯曲强度大、弹性模数大等特性，能够适应晶圆外延、刻蚀等制造环节的强腐蚀性、超高温的恶劣反应环[更多]