压电超声电机

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压电超声电机（USM）利用压电材料的逆压电效应，通过高频结构振动共振模式实现驱动，具有无齿轮直驱、响应迅速、定位精度高、断电自锁、无电磁干扰以及易于微型化等显著优势，因此在高精度微机电系统、生物医疗设备、机器人手臂、显微镜平[更多]