该技术是动、静态结合的高纯氮化硅粉体烧结工艺,其目的是使炉内反应气体保持一定的比例关系;提高控制精度,在静态时控制反应速度,动态时换气。 采用该技术生产的氮化硅粉性能指标已经接近目前德国M11粉,超过日本Dan[更多]
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