离子束抛光

推荐金刚石衬底TTV 0.1μm超精密制造技术进展与应用

中国粉体网讯 随着半导体电子器件的集成化与小型化发展，金刚石因优异的热导性、电导性成为制备半导体衬底的理想材料。金刚石衬底是用于支撑其他半导体材料薄膜生长的基底，主要作用是提供机械支撑并确保在高功率、高频率应用中有效散热。金[更多]