极紫外光刻

推荐超低膨胀石英玻璃的制造与应用

中国粉体网讯石英玻璃拥有极低的热膨胀系数（约为5.5×10-7/℃），仅为陶瓷的1/6和普通玻璃的1/20。研究表明，在石英玻璃中掺杂二氧化钛可进一步降低膨胀系数，可比普通石英玻璃再低1~2个数级，得到超低膨胀系数石英玻璃。[更多]