ALD均匀包覆

推荐实现粉末ALD均匀包覆的关键技术之一：流化床ALD系统

在先进材料不断迈向纳米尺度与复杂结构的今天，如何在颗粒表面实现“原子级可控”的均匀包覆，已经成为催化、能源、电池与功能材料领域的关键技术问题。Forge Nano 所推动的流化床原子层沉积（Fluidized Bed ALD[更多]