广东汇成真空科技股份有限公司
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产品详情
高精密电子束蒸发镀膜机
高精密电子束蒸发镀膜机的图片
参考报价:
面议
品牌:
汇成真空
关注度:
61
样本:
暂无
型号:
高精密电子束蒸发镀膜机
产地:
广东
信息完整度:
典型用户:
暂无
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认证信息
 
名 称:广东汇成真空科技股份有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

在玻璃/PC/PMMA基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机;将满足客户需求的多种元件组合在一起,可以形成品质更加优良的薄膜;基片伞架采用中心旋转方式(公转),减少产生振动和颗粒,使基片能够稳定旋转。

      采用坩埚上没有极片的电子束加热方式作为蒸发源,可以稳定地形成多层膜;采用本公司独有的比率控制法和多点在线监控,可以形成高精度且稳定的光学多层膜;可利用操作性良好的升降机来取出基片伞架。

      使用均匀分布的高离子电流密度的离子源,搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上,利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程,工件架可选择钟罩式或行星式。

AR 膜(基材玻璃透过率>91.5%):
■  420-680nm波段,单面平均透过率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■  双面平均透过率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

AS/AF膜测试标准:
■   初始接触角范围为 115±5°;
■   钢丝绒耐摩擦测试标准:用 0000#钢丝绒,面积为 10*10mm,行程 40 次/分,负载1Kg,5000 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
■   橡皮擦测试标准: 直径 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,负载1Kg, 2500 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
备注:测试样片玻璃需为经过精密抛光过的触摸屏盖板专用玻璃,表面光洁。


优势:

•提高沉积速率以实现更高产量
•在半导体,光电和光子学领域实现高精度工艺
•坚固耐用且易于维护

规格
型号HCEB-1100
腔体尺寸Φ1100 x H1520
装载量0.8 m2
结构立式前开门,SUS304不锈钢
性能
转速10~30RPM(可变)
抽速大气压至1.5×10-3Pa≤30min
极限真空度8.0×10-5Pa
膜料TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
主要配置
夹具系统中心上旋转伞架,单体或分体
加热系统卤素灯 / 铠装加热器,**350℃
排气系统低真空泵组 + 高真空泵组 + 低温泵 / Polycold
真空控制系统真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计
镀膜系统电子枪,无氧铜坩锅,阻抗式蒸发源,射频/考夫曼型/霍尔型离子源
充气系统MFC或APC自动压强控制仪
膜厚控制仪晶控或光控
控制系统PC+PLC
应用
光学薄膜应用UV/IR截止滤光片、装饰膜、带通滤光片、RGB滤光片、光触媒、HR膜等
适用波长300nm~1560nm
注:可客制化(数据仅供参考)


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