武汉普迪真空科技有限公司
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产品详情
PECVD管式炉
PECVD管式炉的图片
参考报价:
面议
品牌:
普迪真空
关注度:
48
样本:
暂无
型号:
PECVD管式炉
产地:
湖北
信息完整度:
典型用户:
暂无
金属电热元件:
其他
烧结气氛:
其他
最高温度:
1200℃
非金属电热元件:
其他
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认证信息
 
名 称:武汉普迪真空科技有限公司
认 证:工商信息已核实
访问量:1131
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品牌传达企业理念
产品简介

产品摘要

该设备是由滑动开启式真空管式炉,混气系统,真空及压力系统等组成。烧结温度可达到1200°,通过滑动炉体来实现快速升降温,可以通过配置不同的真空系统来达到理想的真空度,同时可以通过多路高精度质量流量计来控制不同的气体。

产品介绍

★炉体结构:日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好,支撑两端安装油压缓冲器炉盖可开启,可以实时观察加热的物料

★电源:AC220V,50/60HZ 功率:4KW

★炉管:高纯石英管尺寸:φ 40/60/80/100*1200mm

★加热系统:加热区长度440MM 恒温区长度200mm 工作温度≤1150° **温度1200° 升温速率10°/min

★温控系统:温度控制采用人工智能调节技术具有PID调节,自整定功能30段升降温程序

★混气系统:多路质量流量计数字显示气体流量自动控制。流量规格:0-1SLM 流量精度±1.5%

★真空度:真空度可达(5E﹣01)torr

★可选配件:混气系统中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,氧含量分析仪等


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